氣體電磁流量計可同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時，在傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。

　　微機電系統流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。

　　氣體電磁流量計結構簡單，傳感器內空無一物，無附加阻力損失堅固耐用抗磨損、可長周期保持足夠高的測量精度，結合智能型二次儀表使用，可以用來作為計量考核儀表使用。

　　可對蒸汽、氮氣、二氧化碳、氫氣等測量的氣體進行測量，并且針對該流量計的校準要求在不斷增加。由于采用這些氣體進行大規模校準的設施并不多，因此采用該測量儀器進行流體校準幾乎是常用的選擇，且在許多情況下是一種合理的、可替代的選擇。如果流動條件可以估算出來，那么就可以在與操作條件不同的條件下對氣體流量計進行校準，估算流動條件所采用的參數通常為關于該氣體流量計入口直徑的雷諾數。